能够以±0.05℃的精度进行控制的“PEC”系列产品

　　好利旺机械（Orion Machinery，总部：日本长野县须坂市）开发出了可比原方式减少70％以上耗电量的温度调节控制技术——“热泵平衡控制”技术。该公司备有采用该技术的精密空调器“PAP”系列产品、以及精密冷水机（Chiller）“PEC”系列产品（图1、2）。适用于以下用途：在精密模具以及球面加工等精细加工时，调整装置及工件的温度；在半导体保护层涂覆工序中，为了确保膜厚精度，调节周围环境以及保护液的温度。

　　该公司开发的热泵平衡控制技术，利用了家用热水器等采用的热泵循环原理。通常，热泵循环是从一方吸收热量、向另一方排放热量，以此进行加热的单向循环，而新技术在附加加热热交换器中也设置了加热机构及冷却机构，用1台压缩机构成了连续的冷冻循环。省去了温度控制用的电加热器。

　　另外，通过配管方式及控制技术的改进，使制冷剂更均衡地分流，因此，可根据产生热量的变动进行控制。耗电量为3.2kW，与使用电加热器的PID控制精密空调器相比，节省了73％的能量。在制冷机方面，配备了以前产品一直采用的DC无刷马达，由此，比配备AC伺服马达的制冷机提高了约30％的效率。

　　PAP系列产品方面，备有风量为5/10/20m3/min的3种型号产品，并分别可选择是否配备HEPA过滤器。价格为201万6000～304万5000日元（含税）。上述产品均可在18～30℃的范围内、以±0.1℃的精度控制温度。另外，PEC系列产品的价格为172万2000日元（含税）。可在10～60℃下以±0.05℃的精度进行控制。